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清华团队在《自然》发文 新突破有望解决光刻机自主研发难题

清华团队在《自然》发文 新突破有望解决光刻机自主研发难题

清华大学供图   中国青年报客户端北京2月25日电(中青报·中青网记者 叶雨婷 通讯员 温兴煜)今天,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在《自然》(…

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